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1、准静态纳米压痕测试，可以获得：载荷、压痕深度、时间、硬度、弹 性模量、断裂韧性、蠕变测量；
2、划痕测试：表面形貌仪（台阶仪功能）、薄膜与基底的临界附着力 等；
载荷分辨率：50nN
最大压痕或划痕载荷：>500mN
位移分辨率：0.01nm
最大压痕或划痕深度：>500µm
仪器框架刚度：≥5x106 N/m
压头更换所需时间: ≤60s
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纳米压痕仪主要用于测量纳米尺度的硬度与弹性模量，可以用于研究或测试薄膜等纳米材料的接触刚度、蠕变、弹性功、塑性功、断裂韧性、应力-应变曲线、疲劳、存储模量及损耗模量等特性。可适用于有机或无机、软质或硬质材料的检测分析，包括PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩绘釉漆，光学薄膜，微电子镀膜，保护性薄膜，装饰性薄膜等等。基体可以为软质或硬质材料，包括金属、合金、半导体、玻璃、矿物和有机材料等。
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一、标准配置1、准静态纳米压痕测试，可以获得：载荷、压痕深度、时间、硬度、弹 性模量、断裂韧性、蠕变测量；
2、划痕测试：表面形貌仪（台阶仪功能）、薄膜与基底的临界附着力 等；
二、连续刚度测量 CSM option (动态测试)
压入过程中实时显示硬度曲线、弹性模量曲线、加载曲线、接触刚度曲 线、接触面积曲线等
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如需使用请至少提前一周电话联系，许可后网上预约，电话咨询时间为周一至周五上午9:00-12:00，下午2:30-5:30
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自制符合标准试样来料检测2000/件 未加工试样来料检测3000元/件 来人操作测试：2000元/日（需有人监督）监督人员补助200元/日，
