可变入射角光谱椭偏仪

1.4设备有高的测量准确性和重复性。
2 光源（光谱范围及分光方式）
a) 光谱范围： 240nm-2500nm
*b) 分光方式：采用前置单色仪分光
C)最小光谱测量间隔：由于0.2nm
3 起偏器、补偿器（调制器）和检偏器部分
a) 覆盖范围：覆盖仪器给定的整个光谱范围（240-2500nm）
*b) 补偿技术：基于旋转补偿或自动相位延迟等多位置动态补偿技术，补偿位置不少于3个。
4 测角仪部分
a) 入射角可变范围：20°-90°，最小步长0.01°
b) 变角方式：步进马达驱动，自动变角
c) 角度精度：0.01°
d) 样品准直：包括样品准直系统

VASE是一款性能出众的通用型椭偏仪，它可以测量各类材料：半导体、电介质、聚合物、金属、多层膜等等。在宽的可选光谱范围（250 ~ 1700 nm)内，融合了高准确性及高重复性的相位延迟技术。可变角度及可变波长拓展了测试能力，可以轻松完成下列参量的
测试：反射及透射椭偏；通用椭偏术 (各向异性, 延迟, 双折射)；反射及透射强度；交叉偏振 R/T；退偏；散射；穆勒矩阵等

材料的透射率、反射率、消光系数、厚度等光学参数检测

仪器设备采用专人管理制度；使用前须向管理人员提前预约；严格按照规定的操作程序进行仪器使用。

根据实验服务项目的技术要求难易度，采取不同的收费标准。