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干涉仪

规格型号:Verifire XPZ
仪器分类:物理性能测试仪器 -> 光电测量仪器 -> 其他
生产厂商: Zygo设备有限公司
仪器设备类别: 专用
河南师范大学
1、 校准系统:快速条纹采样系统;
2、 调整可视范围:±3°;
3、 光瞳调焦范围:±2.5m;
4、 光学放大:电控连续放大1倍~6倍,100mm区域像素点为640x480,,18mm区域像素也为640x480;
5、 Rms波前重复性:<0.35nm,λ/1800(mean+2σ);
6、 rms重复性:<0.06nm, (2σ);
7、 像素峰值偏差:<0.5nm,(99.5th %);
平面光学元件的表面面形透射波面的非接触测量,如玻璃或塑料的光学器件,包括平镜、透镜、棱镜等。
本设备主要服务于对光学器件面形的检测。
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