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光谱范围： 240nm-3200nm；
分光方式：采用前置单色仪分光；
最小光谱测量间隔：优于0.2nm；
起偏器、补偿器（调制器）和检偏器部分覆盖范围：覆盖仪器给定的整个光谱范围（240-3200nm）；
入射角可变范围：20°-90°，最小步长0.01°；
变角方式：步进马达驱动，自动变角；
角度精度：0.01°； -
本设备采用了自动相位延迟专利技术，Δ即使在0°或者180°附近也可以被准确测量，这有助于玻璃、塑料等透明基底上薄膜的测量。
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本设备服务内容为测量各类材料（半导体、电介质、聚合物、金属、多层膜等）的反射及透射椭偏、通用椭偏术 (各向异性, 延迟, 双折射)、反射及透射强度、交叉偏振 R/T、退偏、散射、穆勒矩阵等测量。
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网上预约申请并电话沟通，申请时详细说明工艺参数。
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300/小时
