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靶材尺寸3英寸;三个阴极靶满足共溅射;最大加热温度600度;最大沉积尺寸15.6*15.6cm2。
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制备各种金属薄膜、氧化物薄膜等
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共沉积溅射技术制备各种金属薄膜、氧化物薄膜
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提前一周预约。遵守校内共享管理制度规定
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100元/小时