磁控溅射设备
- 规格型号：AMOD
- 仪器分类：工艺实验设备 -> 电子工艺实验设备 -> 电子产品通用工艺实验设备
- 生产厂商： Angstrom Engineering
- 仪器设备类别： 通用
- 信阳师范大学
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靶材尺寸3英寸；三个阴极靶满足共溅射；最大加热温度600度；最大沉积尺寸15.6*15.6cm2。
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制备各种金属薄膜、氧化物薄膜等
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共沉积溅射技术制备各种金属薄膜、氧化物薄膜
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提前一周预约。遵守校内共享管理制度规定
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100元/小时
