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SE探头分辨率：3.0nm@30kv，7.0nm@3kv
BSE探头分辨率：4.0nm@30kv，10.0nm@5kv
放大倍数：最低倍率≤5倍，最高倍率≥300000倍
检测元素范围：Be4-Pu94
真空度：高真空：不低于0.1mPa；低真空空气浓度不小于600Pa -
配置有二次电子探头和背散射电子探头，能够对各种固体样品进行高分辨形貌观察。配置的能谱仪用于对样品表面微区进行元素定性和半定量分析。
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样品测试、分析检测、科学研究、标准制定。
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1）仪器设备使用须预约，填写申请登记表，一般提前一周提出申请，特殊情况需联系设备归属部门； 2）必须严格执行各类仪器设备的操作规程，认真执行仪器设备开放共享管理办法的通知；3）仪器对外服务时，由设备所在单位收取一定的成本消耗费用。
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每项160元（限时30分钟，不包括能谱分析）；能谱分析30元/点，60元/线，120元/面
