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1） 微米压痕测试仪:最大载荷≧40N,载荷分辨率≦0.75mN,可实现的最小载荷: 500mN,位移分辨率≦0.2nm,可实现的自小位移: 3nm,可实现的最大位移: 300µm;
2) 微米划痕测试仪:划痕正向力最大载荷:40N,划痕正向力最小载荷: 500mN,最大摩擦力: 40N,最大划痕深度: 300µm,最大划痕长度:90mm,划痕速度:0-240mm/min;
3)精密定位平台:X方向移动范围: 150mm,Y方向移动范围: 150mm,工作台XY 方向定位分辨率: 0.25µm,定位精度< 1µm,Z方向最大移动移动范围:50mm;
4)三维表面形貌仪技术参数:Z方向测量范围300Hm,Z方向测量分辨率2nm,XY方向测量范围: 150mm* 150mm. -
用于各种金属、半导体薄膜的结合力测试；
涂层表面力学性能的测试；
可用于测试材料表面粗糙度。 -
制造业、电子业、科学研究、技术服务领域的刀具、模具等材料表面涂层性能评价
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周一至周五（工作日）
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压痕：80元/点 划痕：180元/条 摩擦磨损：180元/条
