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测量精度：纵向分辨率0.1nm；粗糙度测量范围：≥0.1nm（Ra）；样品台尺寸：270×300mm；气浮防震台最大载重：90kg；RMS重复性0.01nm；样品反射率0.01%～100%；台阶高度测量的不确定性0.5%。
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用于高精度表面的表面形貌、表面粗糙度、三维轮廓、台阶高度等的测量分析。如陶瓷球表面粗糙度的测量、微小台阶高度的测量、滚子球基面曲率的测量、轴承零件表面缺陷的测量等。
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用于高精度表面的表面形貌、表面粗糙度、三维轮廓、台阶高度等的测量分析
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星期一至星期五工作时间均可预约
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150元/项
